Proceedings of the Eighth Symposium on Plasma Processing

著者

• Symposium on Plasma Processing
• Mathad, G. S.
• Hess, Dennis W.

書誌事項

Proceedings of the Eighth Symposium on Plasma Processing

edited by G.S. Mathad, D. W. Hess

（Proceedings / [Electrochemical Society], v. 90-14）

Electrochemical Society, c1990

注記

"Dielectric Science and Technology and Electronics Divisions."

Includes index

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA11132685
• LCCN: 90084188
• 出版国コード: us
• タイトル言語コード: eng
• 本文言語コード: eng
• 出版地: Pennington, N.J.
• ページ数/冊数: xi, 787 p.
• 大きさ: 23 cm
• 親書誌ID:
  • BA01323290