Handbook of semiconductor silicon technology

著者

• O'Mara, William C.
• Herring, Robert B.
• Hunt, Lee P. (Lee Philip)

書誌事項

Handbook of semiconductor silicon technology

edited by William C. O'Mara, Robert B. Herring, Lee Philip Hunt

（Materials science and process technology series）

Noyes Publications, c1990

注記

Includes bibliographical references

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA11661369
• ISBN:
  • 0815512376
• LCCN: 89077167
• 出版国コード: us
• タイトル言語コード: eng
• 本文言語コード: eng
• 出版地: Park Ridge, N.J., U.S.A.
• ページ数/冊数: xx, 795 p.
• 大きさ: 25 cm
• 分類:
  • LCC : TK7871.85
  • DC20 : 621.381/52
• 件名:
  • LCSH : Semiconductors -- Handbooks, manuals, etc
  • LCSH : Silicon crystals -- Handbooks, manuals, etc
• 親書誌ID:
  • BA04523161