Studies on structural properties of silicon-based insulator films prepared by plasma processings
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Studies on structural properties of silicon-based insulator films prepared by plasma processings
Takashi Hirao, 1989
- タイトル別名
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プラズマプロセスによるSi系絶縁薄膜の構造的特性に関する研究
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注記
Thesis(doctoral) -- Kanazawa University, 1989, 学博乙第4号