Etching of III-V semiconductors : an electrochemical approach

著者

• Notten, P. H. L. (Peter H. L.)
• Meerakker, J. E. A. M. van der (Jan E. A. M. van der)
• Kelly, J. J. (John J.)

書誌事項

Etching of III-V semiconductors : an electrochemical approach

P.H.L. Notten, J.E.A.M. van den Meerakker, J.J. Kelly

Elsevier Advanced Technology , Distributed in the USA and Canada by Elsevier Science Pub. Co., c1991

タイトル別名

Etching of 3-5 semiconductors

注記

Includes bibliographical references and index

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA12478084
• ISBN:
  • 0946395845
• LCCN: 90042266
• 出版国コード: uk
• タイトル言語コード: eng
• 本文言語コード: eng
• 出版地: Oxford, UK,New York, NY, USA
• ページ数/冊数: xiv, 349 p.
• 分類:
  • LCC : TK7871.85
  • DC20 : 621.381/52
• 件名:
  • LCSH : Semiconductors -- Etching
  • LCSH : Electrochemistry