VLSI metallization : physics and technologies

著者

• Shenai, Krishna

書誌事項

VLSI metallization : physics and technologies

Krishna Shenai, editor

（The Artech House materials science library）

Artech House, c1991

注記

Includes bibliographical references and indexes

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA12616053
• ISBN:
  • 0890065012
• LCCN: 90049544
• 出版国コード: us
• タイトル言語コード: eng
• 本文言語コード: und
• 出版地: Boston
• ページ数/冊数: x, 529 p.
• 大きさ: 28 cm
• 分類:
  • LCC : TK7872.C68
  • DC20 : 621.381/52
• 件名:
  • LCSH : Electric contacts
  • LCSH : Semiconductor-metal boundaries
• 親書誌ID:
  • BA07497137