書誌事項

Applications and devices

John T. Milek

(Handbook of electronic materials, v. 6 . Silicon nitride for microelectronic applications ; pt. 2)

IFI/Plenum, 1972

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注記

Bibliography: p. 109-117

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詳細情報

  • NII書誌ID(NCID)
    BA13751495
  • ISBN
    • 0306671069
  • LCCN
    76147312
  • 出版国コード
    us
  • タイトル言語コード
    eng
  • 本文言語コード
    eng
  • 出版地
    New York
  • ページ数/冊数
    vii, 117 p.
  • 大きさ
    27 cm
  • 親書誌ID
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