X-Ray lithography research : a collection of NRL contributions

著者

• Whitlock, Robert R.
• Naval Research Laboratory (U.S.)

書誌事項

X-Ray lithography research : a collection of NRL contributions

ed by Robert R. Whitlock

（NRL memorandum report, 5731）

Naval Research Laboratory, 1987

• NII書誌ID(NCID): BA13845191
• 出版国コード: us
• タイトル言語コード: eng
• 本文言語コード: eng
• 出版地: Washington, DC
• ページ数/冊数: xiv, ca.172 p.
• 大きさ: 28 cm
• 親書誌ID:
  • BA13845679