Handbook of chemical vapor deposition (CVD) : principles, technology, and applications

著者

• Pierson, Hugh O.

書誌事項

Handbook of chemical vapor deposition (CVD) : principles, technology, and applications

by Hugh O. Pierson

（Materials science and process technology series）

Noyes Publications, c1992

タイトル別名

Chemical vapor deposition

注記

Includes bibliographical references and index

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA18879259
• ISBN:
  • 0815513003
• LCCN: 91046658
• 出版国コード: us
• タイトル言語コード: eng
• 本文言語コード: eng
• 出版地: Park Ridge, N.J., U.S.A.
• ページ数/冊数: xxii, 436 p.
• 大きさ: 25 cm
• 分類:
  • LCC : TS695
  • DC20 : 671.7/35
• 件名:
  • LCSH : Vapor-plating -- Handbooks, manuals, etc
• 親書誌ID:
  • BA04523161