Smart materials fabrication and materials for micro-elctro-mechanical systems : symposium held April 28-30, 1992, San Francisco, California, U.S.A.
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Smart materials fabrication and materials for micro-elctro-mechanical systems : symposium held April 28-30, 1992, San Francisco, California, U.S.A.
（Materials Research Society symposium proceedings, v. 276）
Materials Research Society, c1992
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注記
Includes bibliographical references and indexes
