Maskentechnik für Mikroelektronik-Bausteine : Tagung München, 14. November 1991 : Tagungsbericht

Bibliographic Information

Maskentechnik für Mikroelektronik-Bausteine : Tagung München, 14. November 1991 : Tagungsbericht

(VDI-Berichte, 935)

VDI-Verlag, c1991

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Details

  • NCID
    BA19705661
  • ISBN
    • 3180909358
  • Country Code
    gw
  • Title Language Code
    ger
  • Text Language Code
    gereng
  • Place of Publication
    Düsseldorf
  • Pages/Volumes
    137 p.
  • Size
    23 cm
  • Parent Bibliography ID
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