Maskentechnik für Mikroelektronik-Bausteine : Tagung München, 14. November 1991 : Tagungsbericht

著者

• VDI/VDE-Gesellschaft Feinwerktechnik

書誌事項

Maskentechnik für Mikroelektronik-Bausteine : Tagung München, 14. November 1991 : Tagungsbericht

（VDI-Berichte, 935）

VDI-Verlag, c1991

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA19705661
• ISBN:
  • 3180909358
• 出版国コード: gw
• タイトル言語コード: ger
• 本文言語コード: gereng
• 出版地: Düsseldorf
• ページ数/冊数: 137 p.
• 大きさ: 23 cm
• 親書誌ID:
  • BA07558548