Mikroelektronik im Maschinen- und Anlagenbau : Methoden, Komponenten, Lösungen : Tagung Karlsruhe, 24. und 25. November 1992
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Mikroelektronik im Maschinen- und Anlagenbau : Methoden, Komponenten, Lösungen : Tagung Karlsruhe, 24. und 25. November 1992
(VDI-Berichte, 1000)
VDI Verlag, c1992
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