Maskentechnik für Mikroelektronik-Bausteine : Tagung München, 29. Oktober 1992 : Tagungsbericht

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Maskentechnik für Mikroelektronik-Bausteine : Tagung München, 29. Oktober 1992 : Tagungsbericht

（VDI-Berichte, 1012）

VDI-Verlag, c1992

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Details

  • NCID
    BA19739324
  • ISBN
    • 3180910127
  • Country Code
    gw
  • Title Language Code
    ger
  • Text Language Code
    ger
  • Place of Publication
    Düsseldorf
  • Pages/Volumes
    157 p.
  • Size
    23 cm
  • Parent Bibliography ID
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