Semiconductor materials analysis and fabrication process control : proceedings of Symposium D on Diagnostic Techniques for Semiconductor Materials Analysis and Fabrication Process Control of the 1992 E-MRS Spring Conference, Strasbourg, France, June 2-5, 1992

著者

書誌事項

Semiconductor materials analysis and fabrication process control : proceedings of Symposium D on Diagnostic Techniques for Semiconductor Materials Analysis and Fabrication Process Control of the 1992 E-MRS Spring Conference, Strasbourg, France, June 2-5, 1992

edited by G.M. Crean, R. Stuck, and J.A. Woollam

(European Materials Research Society symposia proceedings, 34)

North-Holland, 1993

大学図書館所蔵 件 / 4

この図書・雑誌をさがす

関連文献: 1件中  1-1を表示

詳細情報

  • NII書誌ID(NCID)
    BA20463173
  • ISBN
    • 0444899081
  • LCCN
    93155906
  • 出版国コード
    ne
  • タイトル言語コード
    eng
  • 本文言語コード
    eng
  • 出版地
    Amsterdam
  • ページ数/冊数
    xiv, 338 p.
  • 大きさ
    29 cm
  • 分類
  • 親書誌ID
ページトップへ