Electron beam testing technology

著者

• Thong, John T. L.

書誌事項

Electron beam testing technology

edited by John T.L. Thong

（Microdevices : physics and fabrication technologies）

Plenum Press, c1993

注記

Includes bibliographical references and index

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA20783334
• ISBN:
  • 0306443600
• LCCN: 93018555
• 出版国コード: us
• タイトル言語コード: eng
• 本文言語コード: eng
• 出版地: New York
• ページ数/冊数: xvi, 462 p.
• 大きさ: 26 cm
• 分類:
  • LCC : TK7871.85
  • DC20 : 621.3815/48
• 件名:
  • LCSH : Semiconductors -- Testing
  • LCSH : Electron beams -- Industrial applications
  • LCSH : Scanning electron microscopes
• 親書誌ID:
  • BA01301028