Rapid thermal processing : science and technology

著者

• Fair, Richard B.

書誌事項

Rapid thermal processing : science and technology

edited by Richard B. Fair

Academic Press, c1993

注記

Includes bibliographical references and index

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA21128480
• ISBN:
  • 0122476905
• LCCN: 93006882
• 出版国コード: us
• タイトル言語コード: eng
• 本文言語コード: eng
• 出版地: Boston
• ページ数/冊数: viii, 430 p.
• 大きさ: 24 cm
• 分類:
  • LCC : TK7871.85
  • DC20 : 621.3815/2
• 件名:
  • LCSH : Semiconductors -- Heat treatment
  • LCSH : Semiconductor doping