Maskentechnik für Mikroelektronik-, Mikrotechnik-Bauteile : Tagung München, 27. und 28. Oktober 1993

Author(s)

• VDI/VDE-Gesellschaft Feinwerktechnik

Bibliographic Information

Maskentechnik für Mikroelektronik-, Mikrotechnik-Bauteile : Tagung München, 27. und 28. Oktober 1993

（VDI-Berichte, 1102）

VDI-Verlag, c1993

Details

• NCID: BA21401091
• ISBN:
  • 3180911026
• Country Code: gw
• Title Language Code: ger
• Text Language Code: gereng
• Place of Publication: Düsseldorf
• Pages/Volumes: 187 p.
• Size: 23 cm
• Parent Bibliography ID:
  • BA07558548