Handbook of sputter deposition technology : principles, technology, and applications

著者

• Wasa, Kiyotaka
• Hayakawa, Shigeru

書誌事項

Handbook of sputter deposition technology : principles, technology, and applications

by Kiyotaka Wasa and Shigeru Hayakawa

（Materials science and process technology series）

Noyes Publications, c1992

注記

Includes bibliographical references and index

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA2181598X
• ISBN:
  • 0815512805
• LCCN: 90027820
• 出版国コード: us
• タイトル言語コード: eng
• 本文言語コード: eng
• 出版地: Park Ridge, N.J., U.S.A.
• ページ数/冊数: xii, 304 p.
• 大きさ: 25 cm
• 分類:
  • LCC : TS695
  • DC20 : 621.3815/2
• 件名:
  • LCSH : Cathode sputtering (Plating process)
  • LCSH : Thin films
• 親書誌ID:
  • BA04523161