Proceedings of the Symposium on Contamination Control and Defect Reduction in Semiconductor Manufacturing III

書誌事項

Proceedings of the Symposium on Contamination Control and Defect Reduction in Semiconductor Manufacturing III

edited by D.N. Schmidt ; [sponsored by] the Electrochemical Society. Electronics Division

(Proceedings / [Electrochemical Society], v. 94-9)

The Electrochemical Society, c1994

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注記

Includes bibliographies and index

"held May 23-27, 1994 in San Francisco, CA"

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  • Proceedings

    [Electrochemical Society]

    Electrochemical Society

詳細情報

  • NII書誌ID(NCID)
    BA23030773
  • ISBN
    • 1566770416
  • LCCN
    94070841
  • 出版国コード
    us
  • タイトル言語コード
    eng
  • 本文言語コード
    eng
  • 出版地
    Pennington, NJ
  • ページ数/冊数
    ix, 433 p.
  • 大きさ
    24 cm
  • 親書誌ID
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