Diagnostic techniques for semiconductor materials processing : Symposium held November 29-December 2, 1993, Boston, Massachusetts, U.S.A.

書誌事項

Diagnostic techniques for semiconductor materials processing : Symposium held November 29-December 2, 1993, Boston, Massachusetts, U.S.A.

editors, O.J. Glembocki ... [et al.]

(Materials Research Society symposium proceedings, v. 324)

Materials Research Society, c1994

大学図書館所蔵 件 / 8

この図書・雑誌をさがす

注記

Includes bibliographical references and index

内容説明・目次

内容説明

The MRS Symposium Proceeding series is an internationally recognised reference suitable for researchers and practitioners.

「Nielsen BookData」 より

関連文献: 1件中  1-1を表示

詳細情報

  • NII書誌ID(NCID)
    BA23153172
  • ISBN
    • 1558992235
  • LCCN
    94020397
  • 出版国コード
    us
  • タイトル言語コード
    eng
  • 本文言語コード
    eng
  • 出版地
    Pittsburgh
  • ページ数/冊数
    xv, 505 p.
  • 大きさ
    24 cm
  • 親書誌ID
ページトップへ