Maskentechnik für Mikroelektronik-, Mikrotechnik-Bauteile : Tagung München, 19. und 20. Oktober 1994

Author(s)

• VDI/VDE-Gesellschaft Mikro- und Feinwerktechnik

Bibliographic Information

Maskentechnik für Mikroelektronik-, Mikrotechnik-Bauteile : Tagung München, 19. und 20. Oktober 1994

（VDI-Berichte, 1172）

VDI-Verlag, c1994

Details

• NCID: BA23893907
• ISBN:
  • 3180911727
• Country Code: gw
• Title Language Code: ger
• Text Language Code: gereng
• Place of Publication: Düsseldorf
• Pages/Volumes: 119 p.
• Size: 21 cm
• Parent Bibliography ID:
  • BA07558548