Metal impurities in silicon-device fabrication

著者

• Graff, Klaus

書誌事項

Metal impurities in silicon-device fabrication

Klaus Graff

（Springer series in materials science, v. 24）

Springer-Verlag, c1995

• : gw
• : us

注記

Includes bibliographical references and index

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA24136474
• ISBN:
  • 3540583173
  • 0387583173
• LCCN: 94024599
• 出版国コード: gw
• タイトル言語コード: eng
• 本文言語コード: eng
• 出版地: Berlin ; New York
• ページ数/冊数: ix, 216 p.
• 大きさ: 25 cm
• 分類:
  • LCC : TK7871.85
  • DC20 : 621.3815/2
• 件名:
  • LCSH : Semiconductors -- Defects
  • LCSH : Silicon -- Inclusions
  • LCSH : Silicon -- Defects
• 親書誌ID:
  • BA00476831