The chemistry of metal CVD

著者

• Kodas, Toivo T. (Toivo Tarmo)
• Hampden-Smith, Mark J.

書誌事項

The chemistry of metal CVD

edited by Toivo T. Kodas and Mark J. Hampden-Smith

VCH, c1994

注記

Includes bibliographical references

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA24145974
• ISBN:
  • 3527290710
• 出版国コード: gw
• タイトル言語コード: eng
• 本文言語コード: eng
• 出版地: Weinheim ; Tokyo
• ページ数/冊数: xxiv, 530 p.
• 大きさ: 25 cm
• 分類:
  • LCC : TK7867
  • DC20 : 621.3815/2
• 件名:
  • LCSH : Electronic circuits -- Design and construction
  • LCSH : Chemical vapor deposition
  • LCSH : Metallic films