Computational modeling in semiconductor processing

著者

• Meyyappan, M.

書誌事項

Computational modeling in semiconductor processing

M. Meyyappan, editor

（The Artech House materials science library）

Artech House, c1995

注記

Includes bibliographical references and index

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA24671751
• ISBN:
  • 0890067074
• LCCN: 94017563
• 出版国コード: us
• タイトル言語コード: eng
• 本文言語コード: eng
• 出版地: Boston
• ページ数/冊数: x, 363 p.
• 大きさ: 24 cm
• 分類:
  • LCC : TK7871.85
  • DC20 : 621.3815/2/0113
• 件名:
  • LCSH : Semiconductors -- Design and construction -- Data processing
  • LCSH : Process control -- Mathematical models
  • LCSH : Semiconductor industry
• 親書誌ID:
  • BA04825670