Thin-film deposition : principles and practice

著者

• Smith, Donald L. (Donald Leonard)

書誌事項

Thin-film deposition : principles and practice

Donald L. Smith

McGraw-Hill, c1995

• : international ed

注記

Includes bibliographical references and index

• NII書誌ID(NCID): BA24899126
• ISBN:
  • 9780070585027
  • 0071139133
• LCCN: 94047002
• 出版国コード: us
• タイトル言語コード: eng
• 本文言語コード: eng
• 出版地: New York ; Tokyo
• ページ数/冊数: xxiii, 616 p.
• 大きさ: 24 cm
• 分類:
  • LCC : TA418.9.T45
  • DC20 : 621.3815/2
• 件名:
  • LCSH : Thin films
  • LCSH : Vapor-plating
  • LCSH : Thin film devices