Metallization : theory and practice for VLSI and ULSI

著者

• Murarka, S. P.

書誌事項

Metallization : theory and practice for VLSI and ULSI

Shyam P. Murarka

Butterworth-Heinemann, c1993

注記

Includes bibliographical references and index

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA25302207
• ISBN:
  • 0750690011
• LCCN: 92033603
• 出版国コード: us
• タイトル言語コード: eng
• 本文言語コード: eng
• 出版地: Boston
• ページ数/冊数: vi, 250 p.
• 大きさ: 26 cm
• 分類:
  • LCC : TK7874
  • DC20 : 621.39/5
• 件名:
  • LCSH : Integrated circuits -- Very large scale integration
  • LCSH : Metallizing