The relationships between thin film processing and structure

著者

• Machlin, E. S.

書誌事項

The relationships between thin film processing and structure

E.S. Machlin

（Materials science in microelectronics, 1）

Giro Press, c1995

タイトル別名

Materials science in microelectronics-I

注記

Includes bibliographical references and index

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA25381305
• ISBN:
  • 187885707X
• 出版国コード: us
• タイトル言語コード: eng
• 本文言語コード: eng
• 出版地: Croton-on-Hudson, N.Y.
• ページ数/冊数: xi, 228 p.
• 大きさ: 24 cm
• 親書誌ID:
  • BA25381688