Selected papers on optical microlithography

著者

• Stover, Harry L.

書誌事項

Selected papers on optical microlithography

Harry L. Stover, editor

（SPIE milestone series / Brian J. Thompson, general editor, v. MS 55）

SPIE Optical Engineering Press, c1992

• : hardbound
• : softbound

タイトル別名

Optical microlithography

注記

Papers originally published in various journals, 1974-1991

Includes bibliographical references and index

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA25780639
• ISBN:
  • 0819409855
  • 0819409863
• LCCN: 92019421
• 出版国コード: us
• タイトル言語コード: eng
• 本文言語コード: eng
• 出版地: Bellingham, Wash.
• ページ数/冊数: xviii, 676 p.
• 大きさ: 28 cm
• 分類:
  • LCC : TK7871.85
  • DC20 : 621.3815/2
• 件名:
  • LCSH : Semiconductors -- Design and construction
  • LCSH : Microlithography
  • LCSH : Masks (Electronics)
• 親書誌ID:
  • BA10810973