Vibration control in microelectronics, optics, and metrology : 4-6 November 1991, San Jose, California
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Vibration control in microelectronics, optics, and metrology : 4-6 November 1991, San Jose, California
(Proceedings / SPIE -- the International Society for Optical Engineering, v. 1619)
SPIE, c1992
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注記
Includes bibliographical references and index