Low-dielectric constant materials : synthesis and applications in microelectronics : symposium held April 17-19, 1995, San Francisco, California, U.S.A.
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Low-dielectric constant materials : synthesis and applications in microelectronics : symposium held April 17-19, 1995, San Francisco, California, U.S.A.
（Materials Research Society symposium proceedings, v. 381）
Materials Research Society, c1995
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注記
Includes bibliographical references and index