Handbook of critical dimension metrology and process control : proceedings of a conference held 28-29 September 1993, Monterey, California
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Handbook of critical dimension metrology and process control : proceedings of a conference held 28-29 September 1993, Monterey, California
（Critical reviews of optical science and technology, v. CR52）
SPIE Optical Engineering Press, c1994
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注記
Includes bibliographical references