Advances in resist technology and processing IX : 9-10 March 1992, San Jose, California

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Advances in resist technology and processing IX : 9-10 March 1992, San Jose, California

Anthony E. Novembre, chair/editor ; sponsored and published by SPIE--the International Society for Optical Engineering

（Proceedings / SPIE -- the International Society for Optical Engineering, v. 1672）

SPIE, c1992

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  • Proceedings

    SPIE -- the International Society for Optical Engineering

    SPIE -- the International Society for Optical Engineering

詳細情報

  • NII書誌ID(NCID)
    BA2638547X
  • ISBN
    • 0819408271
  • 出版国コード
    us
  • タイトル言語コード
    eng
  • 本文言語コード
    eng
  • 出版地
    Bellingham, Wash., USA
  • ページ数/冊数
    xi, 684 p.
  • 大きさ
    28 cm
  • 親書誌ID
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