Optical/laser microlithography : 3-5 March 1993, San Jose, California

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Optical/laser microlithography : 3-5 March 1993, San Jose, California

John D. Cuthbert Chair/editor ; sponsored by SPIE--the International Society for Optical Engineering

（Proceedings / SPIE -- the International Society for Optical Engineering, v. 1927）

SPIE, c1993

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  • Proceedings

    SPIE -- the International Society for Optical Engineering

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詳細情報

  • NII書誌ID(NCID)
    BA27107315
  • ISBN
    • 0819411612
  • LCCN
    93084068
  • 出版国コード
    us
  • タイトル言語コード
    eng
  • 本文言語コード
    eng
  • 出版地
    Bellingham, Wash., USA
  • ページ数/冊数
    2 v.
  • 大きさ
    28 cm
  • 親書誌ID
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