The science and engineering of microelectronic fabrication

著者

• Campbell, Stephen A.

書誌事項

The science and engineering of microelectronic fabrication

Stephen A. Campbell

（Oxford series in electrical engineering）

Oxford University Press, 1996

• : cloth

注記

Includes bibliographical references and index

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA27380085
• ISBN:
  • 0195105087
• LCCN: 95035577
• 出版国コード: us
• タイトル言語コード: eng
• 本文言語コード: eng
• 出版地: New York
• ページ数/冊数: xv, 536 p.
• 大きさ: 25 cm
• 分類:
  • LCC : TK7871.85
  • DC20 : 621.3815/2
• 件名:
  • LCSH : Semiconductors -- Design and construction
• 親書誌ID:
  • BA27380143