Silicide thin films - fabrication, properties, and applications : Symposium held November 27-30, 1995, Boston, Massachusetts, USA
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Silicide thin films - fabrication, properties, and applications : Symposium held November 27-30, 1995, Boston, Massachusetts, USA
（Materials Research Society symposium proceedings, v. 402）
Materials Research Society, c1996
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注記
Includes bibliographical references and index
