High density plasma sources : design, physics and performance

著者

• Popov, Oleg A.

書誌事項

High density plasma sources : design, physics and performance

edited by Oleg A. Popov

（Materials science and process technology series）

Noyes Publications, c1995

注記

Includes bibliographical references and index

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA27808127
• ISBN:
  • 0815513771
• LCCN: 95004918
• 出版国コード: us
• タイトル言語コード: eng
• 本文言語コード: eng
• 出版地: Park Ridge, NJ
• ページ数/冊数: xx, 445 p.
• 大きさ: 25 cm
• 分類:
  • LCC : QC718.5.D4
  • DC20 : 621.044
• 件名:
  • LCSH : Plasma density
  • LCSH : Plasma generators
  • LCSH : High temperature plasmas
• 親書誌ID:
  • BA04523161