Proceedings of the Fourth International Symposium on Process Physics and Modeling in Semiconductor Technology

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Proceedings of the Fourth International Symposium on Process Physics and Modeling in Semiconductor Technology

editors, G. R. Srinivasan, C. S. Murthy, S. T. Dunham ; [sponsored by] Electronics Division

(Proceedings / [Electrochemical Society], v. 96-4)

Electrochemical Society, c1996

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注記

"held in Los Angeles, California, May 5-10, 1996, as part of the Spring Meeting of the Electrochemical Society."

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  • Proceedings

    [Electrochemical Society]

    Electrochemical Society

詳細情報

  • NII書誌ID(NCID)
    BA28548360
  • ISBN
    • 1566771544
  • LCCN
    95083752
  • 出版国コード
    us
  • タイトル言語コード
    eng
  • 本文言語コード
    eng
  • 出版地
    Pennington, NJ
  • ページ数/冊数
    x, 528 p.
  • 大きさ
    23 cm
  • 親書誌ID
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