書誌事項

IEEE/UCS/SEMI International Symposium on Semiconductor Manufacturing, September 17-19, 1995, Austin, TX USA

IEEE Service Center, c1995

  • : soft.
  • : case.

タイトル別名

95CB35841

95CH35841

1995 IEEE International Symposium on Semiconductor Manufacturing

ISSM '95

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注記

Includes bibliographical references

"IEEE catalog number 95CH35841"--T.p. verso

詳細情報

  • NII書誌ID(NCID)
    BA28617135
  • ISBN
    • 0780329287
    • 0780329295
  • LCCN
    95078629
  • 出版国コード
    us
  • タイトル言語コード
    eng
  • 本文言語コード
    eng
  • 出版地
    Piscataway, NJ
  • ページ数/冊数
    ix, 294 p.
  • 大きさ
    28 cm
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