Materials for mechanical and optical microsystems : symposium held December 4-5, 1996, Boston, Massachusetts,U.S.A.
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Materials for mechanical and optical microsystems : symposium held December 4-5, 1996, Boston, Massachusetts,U.S.A.
（Materials Research Society symposium proceedings, v. 444）
Materials Research Society, c1997
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注記
Includes bibliographical references and index
