演習集積回路工学
著者
書誌事項
演習集積回路工学
コロナ社, 1997.4
- タイトル別名
-
集積回路工学 : 演習
- タイトル読み
-
エンシュウ シュウセキ カイロ コウガク
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注記
引用・参考文献: 巻頭
内容説明・目次
目次
- 半導体集積回路の生産性
- pn接合とその特性
- バイポーラトランジスタの構造とプロセス
- バイポーラトランジスタの特性
- 酸化膜の形成
- MOSトランジスタの構造と特性
- MOSトランジスタのしきい値電圧
- ホトレジスト加工のパターン限界
- 加工精度とトランジスタ特性ばらつき
- バイポーラトランジスタのデバイス定数と特性〔ほか〕
「BOOKデータベース」 より