Chemical mechanical planarization of microelectronic materials

著者

• Steigerwald, Joseph M.
• Murarka, S. P.
• Gutmann, Ronald J.

書誌事項

Chemical mechanical planarization of microelectronic materials

[by] Joseph M. Steigerwald, Shyam P. Murarka, Ronald J. Gutmann

J.Wiley, c1997

注記

Includes bibliographical references and index

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA30326623
• ISBN:
  • 0471138274
• LCCN: 96006198
• 出版国コード: us
• タイトル言語コード: eng
• 本文言語コード: eng
• 出版地: New York
• ページ数/冊数: xiii, 324 p.
• 大きさ: 24 cm
• 分類:
  • LCC : TK7871
  • DC20 : 621.3815/2
• 件名:
  • LCSH : Microelectronics -- Materials
  • LCSH : Grinding and polishing