シリコン結晶欠陥の基礎物性とその評価法
著者
書誌事項
シリコン結晶欠陥の基礎物性とその評価法
リアライズ社, 1997.5
- タイトル別名
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Basic properties of defects in silicon and their characterizing technologies
- タイトル読み
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シリコン ケッショウ ケッカン ノ キソ ブッセイ ト ソノ ヒョウカホウ
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注記
参考文献: p179-192
