シリコン結晶欠陥の基礎物性とその評価法

著者

• 上浦, 洋一 カミウラ, ヨウイチ

書誌事項

シリコン結晶欠陥の基礎物性とその評価法

上浦洋一著

リアライズ社, 1997.5

タイトル別名

Basic properties of defects in silicon and their characterizing technologies

タイトル読み

シリコン ケッショウ ケッカン ノ キソ ブッセイ ト ソノ ヒョウカホウ

注記

参考文献: p179-192

• NII書誌ID(NCID): BA30607688
• ISBN:
  • 4947655976
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: 東京
• ページ数/冊数: 6,192,10p
• 大きさ: 30cm
• 分類:
  • NDC8 : 549.8