マイクロ/ナノスケール放電プラズマ発生装置の試作とその材料プロセシングへの応用
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マイクロ/ナノスケール放電プラズマ発生装置の試作とその材料プロセシングへの応用
寺嶋和夫, 1997.3
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マイクロ ナノスケール ホウデン プラズマ ハッセイ ソウチ ノ シサク ト ソノ ザイリョウ プロセシング
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注記
平成7〜8年度科学研究費補助金(基盤研究(A)(2))研究成果報告書