マイクロ/ナノスケール放電プラズマ発生装置の試作とその材料プロセシングへの応用

著者

• 寺嶋, 和夫 テラシマ, カズオ

書誌事項

マイクロ/ナノスケール放電プラズマ発生装置の試作とその材料プロセシングへの応用

研究代表者寺嶋和夫

寺嶋和夫, 1997.3

タイトル読み

マイクロ ナノスケール ホウデン プラズマ ハッセイ ソウチ ノ シサク ト ソノ ザイリョウ プロセシング

注記

平成7〜8年度科学研究費補助金(基盤研究(A)(2))研究成果報告書

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA30909199
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpneng
• 出版地: [東京]
• ページ数/冊数: 1冊
• 大きさ: 30cm