マイクロ加工による集積化トンネル電流測定器とその応用
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マイクロ加工による集積化トンネル電流測定器とその応用
藤田博之, 1997.3
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マイクロ カコウ ニ ヨル シュウセキカ トンネル デンリュウ ソクテイキ ト ソノ オウヨウ
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Institute of Industrial Science Library, the University of Tokyo図書
X-08.IIS:科研1996:28-3486711256310
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平成8年度科学研究費補助金(基盤研究(B))研究成果報告書