Ion implantation technology-96 : proceedings of the Eleventh International Conference on Ion Implantation Technology, Austin, Texas, USA, June 16-21, 1996

著者

書誌事項

Ion implantation technology-96 : proceedings of the Eleventh International Conference on Ion Implantation Technology, Austin, Texas, USA, June 16-21, 1996

editors, Emi Ishidida ... [et al.]

IEEE Service Center, c1997

タイトル別名

1996 11th International Conference on Ion Implantation Technology Proceedings

96TH8182

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IEEE Catalog number: 96TH8182

詳細情報

  • NII書誌ID(NCID)
    BA31041072
  • ISBN
    • 078033289X
  • LCCN
    96075709
  • 出版国コード
    us
  • タイトル言語コード
    eng
  • 本文言語コード
    eng
  • 出版地
    Piscataway, NJ
  • ページ数/冊数
    xxvii, 832 p.
  • 大きさ
    28cm
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