視斜角CEMSの開発と酸化スズ系半導体の層別状態分析

著者

• 野村, 貴美 ノムラ, キヨシ

書誌事項

視斜角CEMSの開発と酸化スズ系半導体の層別状態分析

研究代表者野村貴美

野村貴美, 1997.4

タイトル読み

シシャカク CEMS ノ カイハツ ト サンカ スズケイ ハンドウタイ ノ ソウベツ ジョウタイ ブンセキ

注記

平成8年度科学研究費補助金(基盤研究(C)(2))研究成果報告書

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA31258518
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpneng
• 出版地: [東京]
• ページ数/冊数: 1冊
• 大きさ: 30cm