Rapid thermal processing of semiconductors

著者

• Borisenko, V. E. (Viktor Evgen´ evich)
• Hesketh, P. J. (Peter J.)

書誌事項

Rapid thermal processing of semiconductors

Victor E. Borisenko, Peter J. Hesketh

（Microdevices : physics and fabrication technologies）

Plenum, c1997

注記

Includes bibliographical references and index

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA31689644
• ISBN:
  • 0306450542
• LCCN: 97003783
• 出版国コード: us
• タイトル言語コード: eng
• 本文言語コード: eng
• 出版地: New York
• ページ数/冊数: xxii, 358 p.
• 大きさ: 26 cm
• 分類:
  • LCC : TK7871.85
  • DC21 : 621.3815/2
• 件名:
  • LCSH : Semiconductors -- Design and construction
  • LCSH : Rapid thermal processing
• 親書誌ID:
  • BA01301028