VLSIとCVD : 半導体デバイスへのCVD技術の応用

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VLSIとCVD : 半導体デバイスへのCVD技術の応用

前田和夫著

槙書店, 1997.7

Title Transcription

VLSI ト CVD : ハンドウタイ デバイス エノ CVD ギジュツ ノ オウヨウ

Available at  / 39 libraries

Note

参考文献: p[377]-384

総合・CVD関連材料索引: p388-396

Description and Table of Contents

Table of Contents

  • １章　ＣＶＤとシリコンデバイス
  • ２章　ＣＶＤ技術概論
  • ３章　ＣＶＤによる膜形成法
  • ４章　ＣＶＤ膜形成用原料化合物
  • ５章　ＣＶＤ膜形成反応の制御
  • ６章　ＣＶＤ膜形成各論
  • ７章　ＣＶＤ膜の評価技術
  • ８章　ＣＶＤ膜の応用
  • ９章　ＣＶＤ装置
  • １０章　ＣＶＤ技術の将来展望

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Details

  • NCID
    BA31815443
  • ISBN
    • 4837506453
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    jpn
  • Text Language Code
    jpn
  • Place of Publication
    東京
  • Pages/Volumes
    2,7,396p
  • Size
    22cm
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